Plateforme technologique MicroPackS
Le département d’Électronique Flexible s’appuie sur la plateforme technologique MicroPackS, un espace de 660 m² dédié aux activités de recherche et développement en micropackaging, microélectronique et nanoélectronique. Conçue en étroite collaboration avec l’industrie, cette plateforme est équipée d’installations de pointe, intégrant une salle blanche de 220 m² en classe 1000 et de 400 m² en classe 10 000, accessible à l’ensemble des membres du département.
Équipements et technologies
MicroPackS est dotée d’infrastructures avancées pour le traitement des couches minces, incluant :
- Sublimation sous vide : dépôt de films minces sous atmosphère contrôlée pour des applications en microélectronique.
- Techniques de dépôt par solution et impression jet d’encre : fabrication de dispositifs électroniques flexibles et imprimés avec une grande précision.
Caractérisation et analyse des dispositifs
La plateforme dispose d’un ensemble d’outils spécialisés pour la caractérisation électrique et structurelle, permettant d’évaluer la performance et la fiabilité des composants électroniques :
- Station de test automatique et testeurs multiples pour l’évaluation électrique.
- Microscopie électronique à balayage (SEM) : imagerie haute résolution des structures nanométriques.
- Microscopie à force atomique (AFM) : analyse des propriétés de surface à l’échelle nanométrique.
- Diffraction des rayons X : caractérisation des matériaux et des couches minces.
- Nanoindentation : mesure des propriétés mécaniques à l’échelle microscopique.
- Spectroscopie Raman : identification des structures moléculaires et des contraintes mécaniques dans les matériaux.
- Microscopie acoustique à balayage : détection des défauts internes et des interfaces dans les dispositifs multicouches.
Grâce à cette plateforme technologique, le département d’Électronique Flexible accélère le développement de nouvelles générations de dispositifs électroniques souples, extensibles et intelligents, en collaboration avec des acteurs industriels et académiques de premier plan.
Plateau technologique IDFab
Le plateau technologique Intelligent, Design – Fabrication– ID-Fab est un espace dédié à l’innovation en objets connectés et interfaces sensitives. Il réunit des équipements de pointe pour la conception, le prototypage et la fabrication, offrant ainsi un environnement collaboratif aux chercheurs, entreprises, et étudiants pour concevoir des objets à forte valeur ajoutée.